超声浸液清洗机

超声浸液清洗机

全自动 FOUP 清洗机用于 12 英寸 FOUP/FOSB 清洗，多级精密过滤满足 Class10/100 洁净度，360° 喷淋 + 真空干燥（可选），洁净高效。支持 EAP/MES/AMHS、SECS/GEM 及 OHT/PGV/AGV 对接，符合 SEMI S2、CE 标准。

产品特点

密封式独立清洗腔体，清洗效果更好，洁净度更高

集成一体式N2填充及FOUP内部温湿度检测系统，避免FOUP二次污染

FOUP真空抽湿功能，干燥后满足最苛刻之湿度要求

自动Load Port和主流E84传感器，对接OHT天车稳定、高效

Slot Mapping检测系统，能够实时检测未取出晶圆片和晶圆碎片(Option)

各腔体可单独控制运行，互不干涉

采用工控机+PLC方式控制，操作简单、便捷且满足SECS/GEM通信要求

应用范围

技术参数

设备尺寸

4250mm(L)x4170mm(W)×2800mm(H)(含脚杯+排气口高度)仅供参考

应用范围

12" Wafer FOUP/FOSB;Panel FOUP;Mask FOUP

夹具类型

按客户产品定制(Max12寸FOUP)

产品数量

3pcs/批次（12寸 FOUP)

主轴转速

Max60rpm(自定义)

主轴旋转方式

正转/反转

电源供应

三相五线AC380V 50Hz主机253A;外置加热箱115A

噪音

<75db

总功率

MAX约218KW

设备净重

约4000Kg

主要材质

机身: SUS304
管路:PFA