非标全自动FOUP清洗机

非标全自动FOUP清洗机

该设备是在原有半自动FOUP清洗机基础上，通过增加2组清洗花篮，提高设备单次最大清洗数量。同时设备外接全自动上下料Load Port设备和Buffer缓存设备，实现全自动取/放晶圆载具和全自动开盒盖的同时，可最多缓存24ea的12寸Wafer FOUP。

产品特点

多达十段清洗工艺流程设定，制程窗口更宽

含有自动执行状态显示，快速检视设备运行状态及工作时间

扭力侦测转篮卡榫未定位保护，降低人为失误导致设备损坏

主轴由伺服系统控制，稳定加减速及转速，数值可控

操作程序PLC控制可按作业需求自由调整，方便快捷，人性化设计

旋转式离心清洗，正反旋转速度可调，更易清除产品表面残留污染物

IR烘烤加速干燥时间，无任何水份残留

采用一流体（二流体选项）的清洗模式，能有效去除微小的污染物

应用范围

技术参数

设备尺寸

2500mm(W)×3800mm(D)×2700mm(H)仅供参考

旋转夹具

按客户产品定制（Max 12寸FOUP/FOSB；8寸Open Cassette）

产品数量

12ea/批次（12寸FOUP/FOSB）； 18ea/批次（8寸Open Cassette）

主轴转速

Max.150RPM

主轴旋转方式

正转/反转可调

电源供应

三相五线AC380V 50Hz 130A（不含外置液箱）

总功率

Max约49KW（不含外置液箱）

设备净重

3000Kg

噪音

＜80dB

主要材质

机身：SUS304镜面不锈钢
管路：PFA

CDA/N2

压力：＞0.7Mpa Φ12 PU管

DIW

流量：5~60LPM，压力：＞0.3Mpa

排气口

数量：2×Φ152mm，流量≈15m³/min，由客户提供抽风系统