半自动FOUP清洗机

半自动FOUP清洗机

FOUP 清洗机为自动离心式清洗设备，适配 SMIF、FOUP、FOSB、Cassette 等各类晶圆料盒，通过 360° 旋转 + DI 水高压冲洗去除颗粒与金属离子，离心热风烘干，清洗干燥效果优异。支持 SECS/GEM200/300，符合 SEMI S2、CE 半导体标准认证。

产品特点

多达十段清洗工艺流程设定，制程窗口更宽

含有自动执行状态显示，快速检视设备运行状态及工作时间

扭力侦测转篮卡榫未定位保护，降低人为失误导致设备损坏

主轴由伺服系统控制，稳定加减速及转速，数值可控

操作程序PLC控制可按作业需求自由调整，方便快捷,人性化设计

旋转式离心清洗,正反旋转速度可调，更易清除产品表面残留污染物

IR烘烤加速干燥时间，无任何水份残留

采用一流体(二流体选项)的清洗模式，能有效去除微小的污染物

应用范围

技术参数

设备尺寸

1780mm(L)x 1870mm(W) x 2550mm(H)(含脚杯+排气口高度）仅供参考

旋转夹具

按客户产品定制(Max12寸FOUP/FOSB 8寸/ Cassette)

产品数量

8pcs/批次（12寸 FOUP)/16pcs/批次（8寸Cassette)

主轴转速

Max200rpm(自定义)

主轴旋转方式

正转/反转

电源供应

三相五线AC380V 50Hz 85A(不含外置液箱)

噪音

<80db

总功率

MAX约33KW(不含外置液箱)

设备净重

约1000Kg

主要材质

机身：SUS304
管路：PFA

CDA/N2

压力:0.45-0.7Mpa φ12 PU管

DIW

流量:5-60L/min，压力:大于0.3Mpa

排气口

数量：2×Φ152mm
流量≈15m³/min
由客户提供抽风系统